インライン品質管理のためのエミッタシート抵抗率測定に関する比較研究

最新の結晶Si太陽電池製造ラインにおける自動化とスループットの向上に伴い、対応するプロセス機器に直接組み込まれる品質管理（QC）への関心が高まっています。リン拡散ステップの主なQCパラメータは、通常は手作業で採取したサンプルに基づいて測定されるエミッタシートの抵抗です。これとは対照的に、私たちの目的は、大容量拡散装置に直接組み込める測定方法を開発してテストすることでした。2つの非接触アプローチが研究されています。1つは渦電流法で、もう1つはSPV (表面光電圧) プロービングに基づく新開発システムです。基準となる測定手法として、4点プローブ（FPP）を使用しました。その結果、新しい30 MW細胞株にすでに組み込まれている新しいSPV法は、オフラインFPPと同じ精度が得られるのに対し、渦電流法は適用できないことが明確に示されました。

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