太陽電池ウェーハ上のシート抵抗と反転チャージキャリアの移動度の非接触測定

ディファレンシャルジャンクションの新しい用途 光電圧 (Diff-JPV) 測定技術が導入されました。この手法では、反転層内の電荷キャリアのシート抵抗を測定できます。 R_{株式会社エス} にとって シリコンウェーハ 異なるコーティングが施されています 誘電体 調査中です。ザー 誘電体 -ISO_x、SiN_x とラオ_x —この調査で使用されたものはすべて、次の場合に関連性が高い 太陽光発電 用途、特に反転層太陽電池コンセプト用。

新しく開発された汎用測定ルーチンと位相依存を利用した評価 表面電位 Diff-JPV センサーの信号は非常に高速になりました R_{株式会社エス} 非常に高い場所 (>10 kΩ/平方メートル) でも抽出可能 R_{株式会社エス} 反転層によく見られる範囲です。

しかし、基準反転層シートの抵抗値は、テストデバイスを作らないとほとんど得られません。そこで、Diff-JPV 測定の信頼性を検証するには、Diff-JPV からの反転電荷キャリアの移動度を測定するという間接的な方法が適用されます。 R_{株式会社エス} 連続した表面コロナチャージステップ後の結果。

Diff-JPVの結果の非常に急激な変化が観察され、反転レジームでのみ有意なシグナルを示し、次のようになります。 R_{株式会社エス} 結果は予想範囲内です。インバージョンチャージ キャリアモビリティ から計算されたデータ R_{株式会社エス} 対表面電荷プロットは一貫しており、デバイステストで見つかったものと同等です。シート抵抗と移動度の結果は、以下に対して高い感度を示しています。 表面形態 （つまり、テクスチャード加工かポリッシュ加工か）、界面品質、および特定の誘電体内の電荷量。

非接触JPVは、反転層の特性を迅速に特性評価するための迅速かつ効率的な方法であることが証明されています。将来、逆層ベースの太陽電池技術が産業化されれば、生産ラインでも実現できます。

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