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セミラボグローバル
1997
•
プラズマプロセスによる損傷に関する国際シンポジウム、1997年。
従来のゲートコンデンサの電気試験と新しい非接触アプローチによる窒化物スペーサーのプラズマ損傷の相関関係
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Abstract
Topic
コンデンサ、エッチング、プラズマ応用、プラズマデバイス、プラズマ診断、プラズマ材料処理、プラズマ測定、プラズマ安定性、パルス測定、試験
Author
M・W・ゴス、A・フィンドレー
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