ミューラー行列エリプソメトリーを用いたフォークシートFETアレイの構造的非対称性の検出:理論的研究

バックグラウンド

これまでになく小型化されたトランジスタや新しい構造の出現により、さまざまな構造欠陥の検出など、計量学上の新たな課題も生じています。ミューラーマトリックス (MM) 測定は、それらを調査する機会となります。

目的

欠陥はデバイスの性能を低下させる可能性があるため、欠陥の特性評価は特に重要です。私たちの目標は、MM測定を用いて非対称欠陥を検出できる可能性を調査し、フォークシート電界効果トランジスタ（FET）の場合のこれらの構造欠陥の識別可能性を研究することです。

アプローチ

フォークシートFETのプロファイルの非対称性の角度と方向が異なるMM測定のシミュレーション。欠陥によって生じる光学応答の識別可能性を定量化するために、非対称パラメータ間の相関を計算しました。サンプルの正確な位置合わせは非対称性の検出における重要な要素であるため、位置合わせの不確実性の影響とそれを除外する方法についても調査しました。

結果と結論

MM測定は、プロファイルの曲がりの大きさと方向、および誘電体壁のシフトの両方に敏感です。相関係数は、非対称欠陥の光学応答とアライメント誤差を区別できることを示しています。後者は、この記事で紹介した方法でも解消できます。

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