正確な接触抵抗試験
非接触、高感度マッピング
高度な不純物特性評価ツール
正確な薄膜分析
正確なテクスチャと地形のマッピング
超高感度質量検出
分子相互作用の詳細な洞察
個々の細胞を正確に選別
複雑なポアソンベースの補正を行わずにUSJ構造の活性化ドーパントプロファイリングを行うことができる新しい技術が開発されました。この手法は、25 nmもの薄さのUSJ層で実証されています。この測定技術の価値は、移動度のばらつきを考慮する必要がなく、電気的に活性化されたドーパントに集中できることです。プロファイルの形状はデバイスの性能に影響する可能性があるため、この測定によって最適なプロセス開発が可能になります。
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