1999
•
半導体材料・デバイスの診断技術論文集, 1999 Joint Int.ミーティング、196)

µ-PCDとSPV技術の併用による組換え中心パラメータの決定

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Abstract

Topic

再結合中心、マイクロ波光伝導減衰 (μ-PCD)、表面光電圧

Author

T・パベルカ、A・トート、G・バイエル
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