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セミラボグローバル
1999
•
電気化学会誌 146 (1999) 2258
シリコン中の銅汚染が酸化薄膜の破壊に及ぼす影響
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Abstract
Topic
銅汚染、ブレークダウン、信頼性、薄いシリコンゲート酸化物
Author
D・A・ラマッパ、W・B・ヘンリー
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