1999
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半導体デバイス製造における洗浄技術、第6回国際シンポジウム議事録（1999年10月）、第99-36巻、59〜68ページ

高度なプレゲートクリーニングの評価

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Abstract

Topic

プレゲート洗浄、粒子除去、金属除去、表面微細加工、表面パッシベーション

Author

C. Cowache、P. Boelen、I. Kashkoush、P Besson、F. Tardif
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