2008
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ARCSISの技術・科学会議、11月20〜21日、フランス・フーヴォーにあるST大学（2008年）

45 nm 未満の CMOS デバイスの超浅接合部の製造と特性評価に関する課題

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Abstract

Topic

ウルトラシャロージャンクション (USJ)

Author

F. Torregrosa、H. Etienne、G. Sempere、G. Mathieu、L. Roux、C. Grosjean、R. Daineche、Y. De Puydt、L. Dupuy、P. Galand、A. Pap、K. Kis-Szabo、T. Pavelka
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