
2003年7月、ソーラーセンター・エアフルトはドイツのCiS1マイクロセンサー・サーフルト研究所のビジネスユニットとして設立されました。CiS Institute for Microsensor GmbHは、テューリンゲン自由州にある非営利の研究機関で、地元産業と密接な関係があります。このセンターは、シリコンウェーハ会社のPV Silicon AGと太陽電池会社のエルソル・ソーラー・エナジーAGのすぐ近くにあります。ソーラーセンターの目的には、シリコン太陽電池とインライン測定装置のための工業的に実現可能なプロセス技術の開発が含まれます。最初のプロジェクトには、主に2つの目標があります。1)薄くて大面積の多結晶ウェーハと適切な太陽電池プロセスの開発、ii)単結晶ウェーハで高効率を実現するための太陽電池コンセプトの開発です。本稿では、測定装置と処理装置の概要を簡単に説明した後に、前述のプロジェクトの最初の結果と今後の取り組みを紹介します。