超薄型モニタリング用の新しい電気計測 ゲート誘電体 熱化されたイオンの制御された堆積を伴います コロナ放電 また、ケルビン型またはモンロー型のプローブによる誘電応答の非接触測定。このアプローチを適用してリーク電流とリーク電流を比較しました。 酸化物 フィールド (J—F）1 nm程度の薄い酸化物の特性。このような酸化物に直接トンネリングリーク電流が流れる状態での電気酸化膜の厚さを測定するために、最近導入されたSASSを採用しました。 T牛 代替コロナ技術の（自己調整定常状態）法。リーク電流と厚さ測定の両方を、極薄SiOのウェーハスケールマッピングに適用しました。2。
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