1996
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J・エレクトロケムSoc.、143、ナンバーワン、216-220

寿命測定によるP型シリコン中の金属不純物の同定可能性

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Abstract

Topic

酸化、シリコン (Si)、温度、窒素化合物、酸素化合物、石英、表面処理

Author

T.S. Horányi、P. Tüttü、Cs.コバチッチ
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