オゾン処理された脱イオン水を介して成長させたシリコン酸化物層によるシリコン表面パッシベーションの改善

窒化ケイ素（SiNx）、酸化アルミニウム（AlOx）、およびAlox/SiNxスタックのパッシベーション品質を、オゾン処理された脱イオン水を使用して形成された薄いシリコン酸化物（SiOx）層の存在下と非存在下で調査しました。寿命測定では、酸化物の存在下でのAlox/SiNxスタックの有効キャリア寿命（eff）が約3ミリ秒であることが示されています。飽和電流密度 (Jo) と界面トラップ密度 (D) が低い_それ) 高値の確認と説明_EFF このサンプルのために。Alox/SiNxのスタックは、電界効果パッシベーションと化学パッシベーションの両方により、優れた表面パッシベーションが可能です。酸化物の存在も、良好な不動態化を実現するうえで決定的な影響を与えることに注意してください。