2017
会議要旨集-電気化学会

強誘電体Si: HfO2のケルビンフォースプローブ顕微鏡

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Abstract

ECS ミーティングアブストラクト ECS会議およびECS主催会議で発表された技術論文の拡張要約が含まれています。この出版物は、この分野の現在の研究を初めて調べたものです。 ECS ミーティングアブストラクト ECSデジタルライブラリのすべての訪問者が無料で利用できます。

Topic

コロナ-ケルビン、非接触測定、薄膜特性評価

Author

ドミトリー・マリンスキー、パトリック・ポラコウスキー、ヤセック・ラゴウスキー、マーシャル・ウィルソン、ピョートル・エデルマン、ヨハネス・ミュラー

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