PoCl3の適切な拡散による低寿命シリコンウェーハの活用

本研究では、POCl3の拡散プロセスを、工業的大量生産の実現可能性に焦点を当てた変換効率の観点から、低品質のシリコン材料向けに最適化しています。したがって、調査は単一プロセスステップでのエミッタ拡散に限定されます。また、標準的なスクリーン印刷プロセスで接触できるエミッタプロファイルのみが考慮されます。拡散後に測定されたキャリア寿命と太陽電池効率の間には強い相関関係があることがわかります。拡散温度は、キャリアの寿命を改善するための重要なパラメータであることが確認されています。拡散温度を60℃下げると、低品質のシリコンウェーハから作られたセルの変換効率が比較で 3% 向上します。

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