4点プローブ（4PP）のシート抵抗（R）を正確に測定する方法sUSJ ソース・ドレイン構造の) について説明しています。新しい方法では、弾性材料プローブ（EM-プローブ）を利用してシリコン表面に非貫通性の接点を形成します。プローブの設計はキネマティックであり、プローブ材料が弾性変形しないように力を制御しています。プローブの材質は、大きな直接トンネル電流が天然酸化物に流れ、それによって低インピーダンスの接点が形成されるように選択されています。SIMS接合の深さが15 nmと浅いUSJ注入P+/N構造物のシート抵抗測定値が測定されました。新しいEM-Probe 4PP法で得られたシート抵抗値は、期待どおりであることがわかりました。本稿では、この方法を様々なUSJ構造体に移植して実証します。
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