マイクロテクノロジーとナノテクノロジーにおける計量、分析、特性評価-ヨーロッパの課題

ヨーロッパは、マイクロテクノロジーとナノテクノロジーにおける計量、分析、特性評価の分野で優れた専門知識を提供しています。この専門知識は、研究機関、学界、中小企業、産業界によって支えられています。シナジー効果の発展、既存技術の強化、革新的な手法の開発に向けた欧州のアプローチは、ナノテクノロジー分析ネットワーク（ANNA）とナノエレクトロニクス技術向け半導体装置評価（SEA-NET）という2つのプロジェクトで実証されています。ANNAは、独立して運営されている研究所の統合に焦点を当てたインフラストラクチャー・イニシアティブです。このマルチサイト・ラボは、分析に携わる科学者と既存の研究機関との協働的かつ相乗的なネットワークを形成しています。SEA-NETの目的は、メトロロジーツールを含む新しい半導体製造装置を、次のテクノロジーノードの高度なプロセス要件を満たすように検証することです。プロトタイプ機器の評価は、ツールサプライヤーと統合デバイスメーカーおよび研究機関と協力して行われます。非接触抵抗率測定の結果、X線計測プラットフォーム、IMS技術に基づくガス検出システムが紹介されています。

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