この論文では、インプラントとアニーリングの複合プロセスの特性評価に最適化された接合光電圧（JPV）法を使用して得られた結果を示します。このツールは、超浅接合シートの抵抗率と漏れの測定に特に適していることがわかりました。この研究では、著者らはまた、以前の装置設計と比較して空間分解能が向上したことの利点についても評価しました。現在の技術であるUSJモニターウェーハは、BFを使用して作られました。2 またはヒ素注入後にスパイクアニールを行い、さらに研究開発用のUSJウェーハは、プラズマイマージョンとそれに続くレーザーアニーリングによって製造されました。すべてのウェーハは非接触JPV測定ツールを使用して測定されました。JPV 測定から得られた結果は、破壊的なオフライン分析測定ツールと相関していました。
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