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2018
•
ASMC 2018 年次カンファレンス
ディープトレンチを有する0.18μmパワー半導体デバイスにおける転位生成のマイクロフォトルミネッセンスイメージング
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Abstract
Topic
マイクロフォトルミネッセンスイメージング、転位生成、半導体デバイス、ディープトレンチ、ウェーハ製造
Author
L. Jastrzebski、G. Nadudvari、D. T. Cseh、L. Roszol、G. Molnar、I. Lajtos
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