光変調反射率測定による中低エネルギー注入傾斜角モニタリング

光変調反射率測定（PMR）は、注入後のプレアニール製造ウェーハのイオン注入量および傾斜角度のモニタリングに最適な技術です。SEMILAB PMR-3000は、サーマルアニーリング工程の前にイオン注入をインラインでモニタリングするためのユニットです。強化された光学システムにより、中用量範囲に鈍感な領域がなく全線量範囲にわたって正確な測定が可能になります。通常の線量検出率は 0.5% (1σ) 未満です。傾斜角検出の分解能は 0.1° (1 σ) に達することがあります。この傾斜角に対する感度は、最先端のプロセス制御要件の要件を満たしています。