1997
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半導体材料・デバイスの診断技術に関する電気化学会シンポジウム議事録

コロナチャージを用いたSiO2中の移動性ナトリウムイオンのモニタリング

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Abstract

Topic

モービル電荷、コロナ温度ストレス、SiO2、コロナ電荷

Author

F.A. Stevie、E. Persson、D.K. DeBusk、A. Savchuk、A.M. Hoff、P. Edelman、J. Lagowski
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