コロナ電荷測定によるHFSiOxのプラズマ窒化モニタリング

この研究では、デカップリングプラズマ窒化物（DPN）HFSiOxのコロナ電荷測定の評価と理解を紹介します。等価酸化膜厚 (EOT)、界面状態の密度などの代表的なコロナ電荷パラメータ (D_それ) および飽和表面電圧 (V_座った) が評価されます。特にそれが示されている D_それ そして V_座った DPNパラメータとの相関関係を良好な精度で示しているため、窒化モニタリングの有望なパラメータです。観察された挙動について、基本的な説明がなされている。 V_座った ダイレクトトンネリングモデルを使用します。

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