
PVの高度な特性評価は、バルクの欠陥、界面、パッシベーション、および劣化現象に対処しなければならない複雑なプロセスです。そのためには、適切な測定技術だけでなく、測定と欠陥/界面の活性を変化させる処理を組み合わせることも必要です。測定は非接触で費用対効果が高いことが望ましいです。この研究の目的は、シリコンPVにこのような多機能ウェーハスケールの特性評価機能を提供することでした。この論文では、多機能計測プラットフォームについて説明します。1-太陽電池ウェーハおよび太陽電池における光誘起劣化のモニタリング、2-界面トラップ密度と表面再結合と表面バリアの役割との相関関係、3-電界効果電位エミッタパッシベーションのモニタリングにおける連続測定の重要性を示す用途例が示されています。