各種酸化剤を用いた原子層堆積法により成長したTiO2の光学特性:エリプソメトリーによる吸収特性の解析

この研究では、TiOの光学特性を分析します₂ Hなどの酸化剤を含むテトラキス（ジメチルアミノ）チタンを使用した原子層堆積（ALD）によって成長した膜₂ああ、₂O₂、いいえ₃、そしてO₂-プラズマ。伊東さん₂-H₂Tiを展示しました³⁺ ブラックTiOに特徴的な状態と酸素欠乏₂、可視近赤外光の吸収を高めます。この効果は、表面記憶効果によりALDサイクルが増えるにつれて増加し、成長速度の低下につながりました。対照的に、Hで成長したフィルムは₂O₂、いいえ₃、そしてO₂-プラズマは化学量論的であり、欠陥が少なく、Tiが存在しないため目に見える近赤外吸収が見られません³⁺。TiO₂ Hで堆積したフィルム₂また、Oは表面粗さと疎水性の増加を示しましたが、他の酸化剤で成長した膜は粗さは高くなりますが疎水性は低下しました。エリプソメトリーと紫外可視分光法により、TiOは次のことが確認されました。₂ Hで育てられたフィルム₂Oは、可視域では屈折率と消光係数が増加し、モス・バースタイン効果によりバンドギャップが広がります。逆に、他の酸化剤で成長させた膜では、厚みが増すにつれてバンドギャップが減少し、屈折率が増加しましたが、バンドギャップ以下では消光係数はゼロでした。中赤外エリプソメトリー測定により誘電応答が明らかになり、TiOの特性の調整における酸化剤の重要な役割が浮き彫りになりました。₂ エネルギーおよび環境用途のフィルム。