インプラントシリコンの光電測定法:現象学的アプローチ

注入されたシリコンのモニタリング用に、表面光電効果（SPV）に基づく光電法が開発されました。インプラントの主な相関関係を説明する現象学的モデルが提案されています。この方法のインプラント用量とエネルギー感受性のメカニズムが特定されました。

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