光変調反射率測定 (PMR) は、プレアニール処理された量産ウェーハの注入後の注入線量および傾斜のモニタリングに最適な技術です。SEMILAB PMR-3000は、サーマルアニーリング工程前のイオン注入モニタリング用のインラインモニタリングユニットです。強化された光学システムにより、中用量範囲で感受性のない領域がなくなることなく、全線量範囲で確実に測定できます。通常の線量検出率は0.5％（1シグマ）未満です。傾斜角検出の分解能は <; 0.1° (1シグマ) です。この傾斜角に対する感度は、最先端のプロセス制御要件の要件を満たしています。
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