
本稿の対象は、キャリア寿命測定の結果に影響する最も重要なパラメータを理解することです。表面状態とキャリア注入レベルの役割について詳しく説明します。Fe、Cr、Au、Coなどの重要な再結合中心について、μ-PCDとSPVという2つの手法を比較しています。FeとCrは、いずれの手法でも単一原子形態で調べられ、ドーパントホウ素と対になる場合にも調べられます。SPVの結果は、注入レベルの違いを考慮に入れると、μ-PCDデータからの期待と一致することが示されています。この2つの手法の性能は、Fe-BおよびCr-Bペアの解離および会合プロセスの場合で実証されています。