MOS製造用電気計測の最近の進展

高リークゲートスタックは、並列RC等価回路としてモデル化されます。♦ 静電容量を解決するには、高周波数を使用すると容量インピーダンスが低下し、その素子が並列抵抗/コンダクタンスの大部分を占めるようになります。♦ ただし、これが機能するのは、テスト構造に寄生直列抵抗がごくわずかである場合だけです。直列抵抗が存在する場合に高い周波数を使用しても、対象となる容量インピーダンスはRsと比較してごくわずかです。