金属および金属酸化物多層ハイブリッドプラズモニックナノ構造の分光エリプソメトリー

有効媒質近似を使用して、300〜800 nmの波長範囲内の新規銀（Ag）/酸化インジウムスズ（ITO）多層ナノピラー構造の光学定数を決定します。構造は空気中の介在物としてモデル化されており、柱の体積分率は 42.4% で、サンプルのSEM画像と一致しています。ナノピラーのシミュレートされた反射強度は、平面上の参照サンプルの反射強度よりもはるかに低く、これは最上部の有効媒層と空気の屈折率の差が小さいためです。さらに、ナノ構造サンプルの約450 nmでの反射の最小値は表面プラズモン増強の証拠であり、プラズモニック用途への適合性を示しています。シミュレートしたブリュースター角はピラー領域で小さくなっていますが、これは実効屈折率が小さいことを示しています。