2018
ECS トランザクション

高速金属識別によるシリコンウェーハ中の重金属汚染の超高感度表面光電位測定

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Abstract

2006年に第1巻を出版して以来、 ECS トランザクション (ECST) は、電気化学会の公式会議議事録出版物です。ECST は学術記録に質の高いコンテンツを広めることに成功しましたが、フルボリュームとして出版できるほど大規模で一貫性のある内容のコレクションは集まりませんでした。ECS理事会とその常任委員会は、かなりの期間にわたって十分かつ慎重に検討した結果、2024年の終わりに出版を中止するという難しい決断を下しました。ECSTは、4年に一度開催されるPriME 2024会議に関連して、2024年9月27日に最終版を発行する予定です。

ECSは、強力な出版物ポートフォリオを通じて、電気化学と固体科学、技術、および関連分野の最前線で理論と実践を発展させるという揺るぎない使命を引き続き果たしていきます。ECS会議に出席した実務者の詳細な要旨は、ECSを通じて公開される予定です。 ECS ミーティングアブストラクト 出版物。また、全原稿の学術記録に自分の居場所を見つけようとする著者には、当社の出版物ファミリーのいずれかで斬新な研究を行う機会もあります。 電気化学会誌ECS ジャーナル・オブ・ソリッド・ステート・サイエンス・アンド・テクノロジーECS センサープラスECS アドバンス、および 電気化学会のインターフェース。ECSはまた、電気化学や固体科学技術に関する意見の迅速な交換を促進する、査読済みの機関でまだ公開されていないプレプリントやその他の予備的な情報を提供する無料のオンラインサービスであるECSarxivも継続する予定です。

ECSTで以前に公開されたすべてのコンテンツは、ECS Plusサブスクライバーと、ECS公開コンテンツへのアクセスを含むIOPP変革契約を結んでいるサブスクライバーは引き続き利用できます。

Topic

汚染、拡散長、重金属汚染、マイノリティキャリア拡散長、シリコン (Si)、表面光電圧、ウェーハマッピング

Author

マーシャル・ウィルソン、アレクサンドル・サヴチューク、ジョン・ダミコ、ブレット・シュレイヤー、ドミトリー・マリンスキー、ピョートル・エデルマン、カルロス・アルメイダ、トロイ・ザジャック、アンドリュー・デイヴィッド・フィンドレー、ジェイチェク・ラゴウスキー

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