2008
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E-MRS春季会合、フランス・ストラスブール、5月26日～5月30日、シンポジウムI

PULSION® へのプラズマシマージョン注入とそれに続くスパイクおよび/またはフラッシュアニーリングによる超浅接合の作製。シリコン中のホウ素拡散に対するプレアモルファス化および共注入の影響

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Abstract

Topic

アモルフィゼーション、コインプランテーション、超浅接合 (USJ)、ホール効果測定、SIMS、TEM

Author

H. Etienne、F. Torregrosa、G. Semoere、G. Mathieu、L. Roux、F. Cristiano、P. Fazzini、W. Lerch、S. Paul、J. Gelpey、F. Milesi、F. Gonzatti、A. Pap、K. Kis-Szabo、T. Pavelka
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